耐酸堿磁翻板液位計是玻璃基板在進行涂布、曝光、顯影、鍍膜等制程前對玻璃表面進行清潔、干燥處理的設(shè)備機臺。故障發(fā)生是在實際生產(chǎn)過程中無法避免的問題，本文主要闡述了耐酸堿磁翻板液位計常見故障發(fā)生的原因及處理辦法，只有熟悉故障發(fā)生的確切原因，了解相關(guān)的處理辦法才能更好的使用耐酸堿磁翻板液位計來幫助我們加工生產(chǎn)更多優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品，提高生產(chǎn)效率及良率。
1.傳送故障
1.1 故障說明
Sensor OFF/on Gap Alarm即故障位置玻璃基板與前進位置玻璃基板間距過小，有疊片風(fēng)險；In/Out sensor Alarm即有玻璃信息時，IN/OUT 傳感器未點亮，無玻璃信息時,IN/OUT 傳感器點亮；sensor Off/on time over Alarm即傳感器在設(shè)定時間內(nèi)沒有OFF/ON，導(dǎo)致超時報警。
1.2 可能的原因
1）故障位置或前進位置馬達傳送機構(gòu)異常；
2）傳感器狀態(tài)異常，造成誤感；
3）傳感器損壞；
4）玻璃基板破片。
1.3 故障處理辦法
1）確認馬達傳送機構(gòu)，對應(yīng)處理后，設(shè)備重新運轉(zhuǎn)；
2）確認傳感器高度、感應(yīng)ON/OF狀態(tài)，設(shè)備重新Reset運轉(zhuǎn)；
3）更換損壞傳感器,確認OK后，設(shè)備重新運轉(zhuǎn)；
4）按照安全作業(yè)流程清除破片，檢查故障位置傳送機構(gòu)：傳送機構(gòu)、Guide Roller、Double Roller，SWR 噴淋狀態(tài)等，確認OK后，設(shè)備重新運轉(zhuǎn)。
2.流量故障
2.1 故障說明
Upper/Lower shower flow /High Alarm即供液時流量超限位過低/高；shower Flow Minimum Alarm即供液時流量過低或者無流量。
2.2 可能的原因
1）Filter、 噴淋噴嘴堵塞等；
2）流量調(diào)整錯誤；
3）供液 PUMP 損壞。
2.3 故障處理辦法
1）更換Filter、清理噴嘴；
2）調(diào)整流量至規(guī)格值內(nèi)；
3）更換供液 Pump。處理后重新Reset運轉(zhuǎn)，確認供液時存在流量，需在Setup中的Pipe I/L 畫面進行流量Setting OK后，確認故障解除。
3.伺服電動機故障
3.1 故障說明
Servo Driver Alarm即Servo Driver 報錯信息異常；cw / ccw Limit Alarm即伺服電動機正轉(zhuǎn)/反轉(zhuǎn)限位傳感器 感應(yīng)到。
3.2 可能的原因
1）伺服電動機機構(gòu)過載；
2）伺服電動機通訊線、驅(qū)動器 損壞；
3）電機驅(qū)動器 斷電或顯示異常；
4）手動JOG 移動超*限，導(dǎo)致報警。
3.3 故障處理辦法
1）確認機構(gòu)是否存在干涉現(xiàn)象，再次手動JOG至原點傳感器信號ON時進行，伺服回原點；
2）更換伺服電動機通訊線、驅(qū)動器；
3）重啟電機驅(qū)動器電源；
4）確認手動操作是否會造成機構(gòu)干涉過載。在手動狀態(tài)下，確認伺服驅(qū)動器是否顯示報警，顯示報警時需要重新將伺服重啟。
4.破片故障
4.1 故障說明
In/Out Broken Alarm即IN/OUT Broken 傳感器未檢測到玻璃基板。
4.2 可能的原因
1）導(dǎo)向滾輪磨損擠壓破片；
2）雙滾輪擠壓破片；
3）滾輪傳動異常擠壓破片。
4.3 故障處理辦法
1）記錄各部件的磨損周期然后進行定期更換。更換期內(nèi)定期巡檢易導(dǎo)致破片發(fā)生的部件，及時更換有導(dǎo)致破片風(fēng)險的部件；
2）添加墊片向上抬高上滾輪的固定位置，通過調(diào)整機構(gòu)可以有效的減少玻璃基板在清洗過程中因雙滾輪夾持導(dǎo)致的破片；
3）對傳送齒輪添加潤滑油，對滾輪軸承添加潤滑劑等。破片故障發(fā)生后可以按照確認位置、尋找碎片、取樣分析、比對位置、確認真因、調(diào)整處理來解決故障發(fā)生。
5.水箱故障
5.1 故障說明
1）TANK HH LEVEL Alarm即水箱中液位超HH上限；
2）TANK HH Interlock LEVEL Alarm即Tank interlock（水箱外透明PVC管)HH超上限；
3）TANK PUMP MCCB ALARM即水箱水泵保護開關(guān)跳電。
5.2 可能的原因
1）Filter堵塞或流量規(guī)格調(diào)整錯誤；
2）水箱液位超HH，報警異?；騣nterlock HH 傳感器誤感或損壞；
3）保護開關(guān)跳電。
5.3 故障處理辦法
1）更換Filter并調(diào)整流量至規(guī)格值內(nèi)；
2）排除水箱內(nèi)多余純水，調(diào)整傳感器或更換傳感器；
3）檢查接線有無異常，重啟水泵保護開關(guān)。
6.氣缸故障
6.1 故障說明
Cylinder FW/BK 或UP Down Alarm即Cylinder 前進/后退或上升/下降不到位。
6.2 可能的原因
1）氣缸供氣量不足；
2）Cylinder 前進/后退或者上下感應(yīng)傳感器位置異常。
6.3 故障處理辦法
1）調(diào)整CDA供應(yīng)量；
2）調(diào)整傳感器位置。處理故障后，在Touch Panel Jod畫面進行手動操作到位，運轉(zhuǎn)OK后Reset機臺。
7.水殘故障
7.1 故障說明
玻璃基板在經(jīng)過耐酸堿磁翻板液位計清洗后再OUT CV處能觀察到基板表面有水跡殘留。
7.2 可能的原因
1）風(fēng)刀流量不足；
2）SWR段排氣過小,使水汽隨流至風(fēng)刀擋板上凝結(jié)；
3）風(fēng)刀前后idle roller高度異常；
4）風(fēng)刀角度異常。
7.3 故障處理辦法
1）調(diào)整風(fēng)刀CDA流量至規(guī)格值內(nèi)(上風(fēng)刀需大于下風(fēng)刀約200lpm)；
2）調(diào)整SWR段排氣；
3）調(diào)整風(fēng)刀前后idle roller高度與基板搬送水平一致；
4）調(diào)整風(fēng)刀角度。調(diào)整后通過cold run玻璃基板來檢查水殘是否消失。
8.結(jié)語
設(shè)備故障率是指設(shè)備故障停機時間與設(shè)備應(yīng)開動時間的比，是考核設(shè)備的技術(shù)狀態(tài)、故障強度、維修質(zhì)量和效率的一個指標。如何降低耐酸堿磁翻板液位計的故障率是從事相關(guān)產(chǎn)業(yè)人員必須關(guān)注的目標，對發(fā)生過的故障進行原因分析，有針對性的進行預(yù)防管理可以有效的降低故障率，從而提高生產(chǎn)效率，達到提速降本的效果。